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电子车间废气处理工艺
电子厂在芯片制造、电路板印刷、元件焊接等生产过程中会产生酸性废气、有机溶剂和特殊污染物,这些废气不仅影响洁净车间空气质量,还可能损坏精密设备。启绿环保针对电子厂废气特点,采用化学洗涤+活性炭吸附+HEPA过滤的组合工艺,提供高标准治理方案。
一、电子厂废气来源及危害
电子厂废气主要来源于蚀刻工序产生的酸性废气(盐酸、硫酸雾等);光刻和清洗过程中使用的有机溶剂挥发(异丙醇、丙酮等);焊接工序产生的焊烟和微量金属颗粒;特殊工艺过程中可能产生的氟化物、氨气等特种气体。
这些废气中的酸性成分会腐蚀精密设备和产品,导致良品率下降。有机溶剂蒸气影响洁净室空气品质,微量污染物在循环空气中积累可能影响产品性能。部分废气成分对操作人员健康造成潜在威胁,同时电子行业面临严格的职业健康与安全规范要求。
二、电子厂废气处理工艺
针对电子厂废气成分复杂、浓度低但危害大、排放标准高的特点,启绿环保采用的处理工艺为:废气经密闭收集后依次通过化学洗涤塔、活性炭吸附器和HEPA高效过滤器,实现多级净化,确保排放气体满足洁净车间回用或高标准排放要求。
三、电子厂废气处理(化学洗涤+活性炭吸附+HEPA过滤)工艺说明
在工艺设备排气点设置密闭接口,通过PP或不锈钢管道将废气输送至处理系统,保持微负压防止污染物逸散。
废气首先进入化学洗涤塔,根据废气性质选择碱液或酸液进行中和处理,有效去除酸性或碱性气体。随后废气进入活性炭吸附器,有机溶剂和气味物质被活性炭吸附去除。最后经过HEPA高效过滤器,彻底去除0.3μm以上的颗粒物和气溶胶。净化后的气体可根据需要回用于车间或达标排放。系统配备在线监测装置,实时监控处理效果。
四、电子厂废气处理设备优点
1、全方位净化:多级工艺针对不同污染物分别去除,综合处理效率高
2、保护精密设备:有效去除腐蚀性和颗粒污染物,延长设备使用寿命
3、保障产品良率:维持洁净室空气质量,减少对敏感产品的污染风险
4、智能监控:在线监测系统确保处理效果稳定,符合行业规范要求
5、模块化设计:可根据生产工艺变化灵活调整处理 capacity6、符合行业标准:满足电子行业严格的健康安全和环境要求
如果您的电子厂需要废气处理方案,或想了解化学洗涤+活性炭吸附+HEPA过滤设备的详细信息,欢迎联系启绿环保 137-1272-5152 咨询,我们将提供定制化解决方案。